中微具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的PRISMO UniMax? MOCVD設(shè)備可配置多達(dá)4個(gè)反應(yīng)腔,可同時(shí)加工108片4英寸或40片6英寸高性能氮化鎵基藍(lán)綠光Mini LED外延晶片，通過(guò)石墨盤(pán)的調(diào)整，可擴(kuò)展至同時(shí)加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，其工藝能力還可延展到生長(zhǎng)8英寸外延晶片。每個(gè)反應(yīng)腔都可以獨(dú)立控制，這一創(chuàng)新設(shè)計(jì)具備優(yōu)異的生產(chǎn)靈活性。中微PRISMO UniMax? MOCVD設(shè)備配置了新穎的局部溫度補(bǔ)償加熱系統(tǒng)，專(zhuān)為高性能Mini LED量產(chǎn)而設(shè)計(jì)，具備優(yōu)異的產(chǎn)出波長(zhǎng)均勻性及產(chǎn)出穩(wěn)定性。此外，PRISMO UniMax? MOCVD設(shè)備配置了785mm大直徑石墨托盤(pán)，極大地提高了設(shè)備產(chǎn)能，并有效地降低了Mini LED外延片的生產(chǎn)成本。