中微具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備可配置多達(dá)4個(gè)反應(yīng)腔，可以同時(shí)加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片，工藝能力還能延展到生長6英寸和8英寸外延晶片。每個(gè)反應(yīng)腔都可以獨(dú)立控制，這一設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的生產(chǎn)靈活性。PRISMO D-BLUE?是首臺(tái)被主流LED生產(chǎn)線采用并進(jìn)行大批量LED和功率器件外延片生產(chǎn)的國產(chǎn)MOCVD設(shè)備。
首臺(tái)被主流LED生產(chǎn)線采用并進(jìn)行大批量LED外延片生產(chǎn)的國產(chǎn)MOCVD設(shè)備
可獨(dú)立控制的反應(yīng)腔運(yùn)行模式
自主的實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)
精準(zhǔn)的參數(shù)控制
全自動(dòng)化處理
符合半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)的軟件控制系統(tǒng)
優(yōu)異的工藝重復(fù)性，簡化工藝調(diào)整需求，提高產(chǎn)品良率
19英寸大尺寸托盤極大地提高了設(shè)備單位產(chǎn)能，降低了生產(chǎn)成本
集成頂蓋升降機(jī)構(gòu)，簡化設(shè)備維護(hù)，提高設(shè)備利用率
符合SEMI S2安全標(biāo)準(zhǔn)，提升設(shè)備的安全性能
