中微具有自主知識產權的MOCVD設備PRISMO A7?可配置多達4個反應腔，可以同時加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片，工藝能力還能延展到生長8英寸外延晶片。每個反應腔都可以獨立控制，這一設計可以實現(xiàn)優(yōu)異的生產靈活性。 配備了 716 毫米托盤的中微 PRISMO A7? MOCVD 設備專為 LED 高產能而設計，每個反應腔的產量是前一代MOCVD 設備 PRISMO D- BLUE? 的 2 倍多，極大地提高了單位產能，能有效降低 LED 外延片的生產成本。